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28391-01 - Lecture: Herstellung von Nanostrukturen: Techniken und Methoden (2 CP)
| Semester | fall semester 2012 |
| Course frequency | Every fall sem. |
| Lecturers |
Thilo Glatzel (thilo.glatzel@unibas.ch)
Thomas Jung (thomas.jung@unibas.ch) Andriy Romanyuk (andriy.romanyuk@unibas.ch, Assessor) |
| Content | Der Kurs dient als Einleitung in die modernen Herstellungsmethoden von Nanostrukturen. Zuerst wird die Thermodynamik und Kinetik der Nukleation und des Wachstums betrachtet. Nach einer kurzen Zusammenfassung der gängiger Analysemethoden folgt eine Beschreibung häufig verwendeter Techniken für die Dünnschichtabscheidung, inklusive thermischen Aufdampfens, Sputterns und der chemische Gasphasenabscheidung (CVD). Lithographie gilt als eine bekannte Methode für die Nanostrukturierung und wird in der Halbleiterindustrie für die Chipherstellung verwendet. In der Vorlesung werden optische, und die Elektronenstrahllithographie beschrieben, gefolgt von einer Einleitung in die Technik der Trockenätzung. Ionen-Implantation stellt eine wichtige Methode für die Synthese von 3D Nanostrukturen und Kompositen dar. Prinzipieller Aufbau und die Besonderheiten der Prozesse und Anlagen werden deshalb diskutiert. Das letzte Kapitel beschreibt die chemischen Herstellungsmethoden und Prinzipien der Selbst-Organisation. |
| Learning objectives | Kennenlernen der verschiedenen Technologien für die Herrstellung der Nanostrukturen, sowie die Verschaffung eines Einblicks in die analytische Methoden zu deren Charakterisierungen |
| Bibliography | 1. Handbook of Nanostructured Materials and Nanotechnology, edited by Hari Singh Nalwa Academic, San Diego, 2000. 2. Nanomaterials Synthesis, Properties and Applications, A.S. Edelstein and R.C. Cammarata, Insitute of Phys. Pub., Bristol, Philadelphia, USA 1998. 3. Springer Handbook of Nanotechnology, B. Bhushan, Springer, New York, USA, 2004. 4. Nanotechnology: An Introduction to Nanostructuring Techniques, M. Köhler, W. Fritzsche, Wiley-VCH Weinheim, Germany, 2004. 5. Handbook of Thin Film Technology, L.I. Maissel, R. Glang, McGraw-Hill Book Inc. 1970. 6. Photoelectron spectroscopy, S. Hüfner, Springer, 1995. 7. Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications, H. Fujiwara, John Wiley & Sons, 2007. 8. Mass Spectrometry: Principles and Applications, E. de Hoffmann, Wiley-Interscience, 2007. 9. Solid Surfaces, Interfaces and Thin Films, H. Lüth, Spinger 2010. |
| Language of instruction | German |
| Use of digital media | No specific media used |
| Interval | Weekday | Time | Room |
|---|
No dates available. Please contact the lecturer.
| Modules |
Module Specialisation: Physics (Master Physics) Module Specialisation: Physics (Master Nanosciences) |
| Assessment format | continuous assessment |
| Assessment details | Präsenz >80% ist die Voraussetzung für die Prüfungszulassung, Präsentation aktueller Veröffentlichungen |
| Assessment registration/deregistration | Reg.: course registration; dereg.: teaching staff |
| Repeat examination | no repeat examination |
| Scale | Pass / Fail |
| Repeated registration | as often as necessary |
| Responsible faculty | Faculty of Science, studiendekanat-philnat@unibas.ch |
| Offered by | Departement Physik |